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安信證券ESSENCE SECURITIES到110億美元以上量級。國內(nèi)需求上看，內(nèi)資在建12時晶圓制造產(chǎn)線預(yù)計合計將帶來90億美元工藝?yán)圃O(shè)備需求，預(yù)計將繼續(xù)支撐2023年起3-4年高需求。目競爭格局：美國M人獨占半壁江山，二線廠商各有特色全球龍頭KLA從光掩模版檢測和膜厚測量起家，一路兼并收購實現(xiàn)90%以上產(chǎn)品覆蓋率，2022年其半導(dǎo)體工藝控制系統(tǒng)收入規(guī)模70.8億美元，同比增長36%，對應(yīng)全球市占率52.4%。其他主要國際廠商中，AMT布局明場/掩模版缺陷檢測及電子束技術(shù)，在電子束檢測市場占據(jù)近50%份顏；ASML圍繞光刻布局套刻誤差和電子束量檢測，2022年市占率5%；0 nto Innovation布局也相對全面，2022年市占6.2%；日本廠商Lasertec在EUV掩模版缺陷檢測領(lǐng)域具備絕對優(yōu)勢；以色列廠商新星測量(Nova)專注量測板塊；Camtek則重點發(fā)力先進(jìn)封裝端工藝控制。目國產(chǎn)進(jìn)展：國產(chǎn)廠商各自突破，國產(chǎn)化率不足5%國產(chǎn)廠商中，中科飛測/上海精測/睿勵儀器2022年營收分別為5.1/1.65/0.72億元，合計營收僅7.5億元，相較2022年中國大陸35億美元的市場規(guī)模，半導(dǎo)體工藝控制設(shè)備的國產(chǎn)化率不足5%，替代空間巨大。近年來，國產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備公司均基于自身技術(shù)優(yōu)勢布局相關(guān)產(chǎn)品線，進(jìn)展顯著，從各自覆蓋產(chǎn)品市場空間上看，中科飛測/上海精測/睿勵儀器/東方晶源/上海微電子各自的SM比例分別為27.2%/51.5%/20%/13.9%/6.3%，中科飛測設(shè)備放量相對較快，而精測電子覆蓋品類相對更廣。建議關(guān)注核心國產(chǎn)半導(dǎo)體工藝控制設(shè)備廠商：1)精測電子：77.3%控股上海精測，覆蓋產(chǎn)品SM比例51.5%，國產(chǎn)量產(chǎn)覆蓋相對最廣2)中科飛測：覆蓋產(chǎn)品SM比例27.2%，2022年營收5.1億元，國產(chǎn)放量相對最快3)中徽公司：34.75%持股睿勵儀器，投資布局前道量檢測設(shè)備，再增新成長曲線回風(fēng)險提示：設(shè)備驗證和國產(chǎn)化推進(jìn)不及預(yù)期：下游晶圓廠擴產(chǎn)及招標(biāo)不及預(yù)期：中美科技博弈影響上游供應(yīng)鏈：市場空間/市占率等測算基于我們所做的關(guān)鍵參數(shù)假設(shè)可能存在誤差。本報告版權(quán)屬于安信證券股份有限公司，各項聲明請參見報告尾頁。2